真空镀膜机的,粗抽阀,前级阀,精抽阀,它们的作用是什么,求行家解答,

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/05/01 06:17:05

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机械抽取真空的过程相当于接力跑,初期从大气状态开始一般使用旋片泵、滑阀泵等,当达到初级泵的极限后就要更换为高真空泵,如罗茨泵、分子泵、扩散泵、冷泵等,在泵与泵之间用于隔断或转换的就是你说的那些阀门.

真空度不同，需要用的真空泵就不一样。
越高的真空度，需要有几级泵来实现。
粗抽阀，是第一级泵（一般是旋片泵）与第二级泵之间的阀门，当管道压力达到二级泵开启的要求时，粗抽阀就可以打开。
前级阀是统称，包括精抽阀等，其原理相似。...

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真空度不同，需要用的真空泵就不一样。
越高的真空度，需要有几级泵来实现。
粗抽阀，是第一级泵（一般是旋片泵）与第二级泵之间的阀门，当管道压力达到二级泵开启的要求时，粗抽阀就可以打开。
前级阀是统称，包括精抽阀等，其原理相似。

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